MEMS加速度傳感器在心率檢測儀中應(yīng)用

2013-09-24 14:59 來源:電子信息網(wǎng) 作者:蒲公英

一、概述

目前國際上已把婦幼保健指標(biāo)作為衡量社會(huì)生產(chǎn)、經(jīng)濟(jì)發(fā)展的敏感指標(biāo)。我國規(guī)定的體現(xiàn)小康水平的健康指標(biāo)、人均期望壽命、嬰兒死亡率、孕產(chǎn)婦死亡率等指標(biāo)都大部分需要通過婦幼保健來實(shí)現(xiàn)。現(xiàn)在醫(yī)院常規(guī)的產(chǎn)前檢查包括測胎心、胎位、量血壓、稱體重、測腹圍和宮底高度等。其中檢測胎兒心率是一項(xiàng)技術(shù)性很強(qiáng)的工作,由于胎兒心率很快,在每分鐘l20~160次之間,用傳統(tǒng)的聽診器甚至只有放大作用的超聲多普勒儀,用人工計(jì)數(shù)很難測量準(zhǔn)確。而具有數(shù)字顯示功能的超聲多普勒胎心監(jiān)護(hù)儀,價(jià)格昂貴,僅為少數(shù)大醫(yī)院使用,在中、小型醫(yī)院及廣大的農(nóng)村地區(qū)無法普及。此外,超聲振動(dòng)波作用于胎兒,會(huì)對(duì)胎兒產(chǎn)生很大的不利作用 盡管檢測劑量很低,也屬于有損探測范疇,不適于經(jīng)常性、重復(fù)性的檢查及家庭使用。

本項(xiàng)目基于VTI公司的SCA600C13H1G型MEMS加速度傳感器,提出一種無創(chuàng)胎心檢測方法,研制出一種簡單易學(xué)、直觀準(zhǔn)確的介于胎心聽診器和多普勒胎兒監(jiān)護(hù)儀之間的臨床診斷和孕婦自檢的醫(yī)療輔助儀器。

二、 SCA600C13H1G

SCA600C13H1G硅電容式加速度傳感器是由單晶硅和玻璃制成。這種設(shè)計(jì)能夠保證,隨著時(shí)問和溫度的變化,產(chǎn)品具有很好的可靠性、準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。它的電容檢測原理簡單而且可靠,是基于兩個(gè)平行板間距的變化來測量的。一對(duì)平行板間的電容和電荷存儲(chǔ)量取決于平行板間的間距和板面積。 產(chǎn)品的密封結(jié)構(gòu)降低了封裝要求。微?;蚧瘜W(xué)物質(zhì)不能進(jìn)入傳感器內(nèi),從而保證了產(chǎn)品的可靠性。 產(chǎn)品的雙電容器結(jié)構(gòu)和對(duì)稱性設(shè)計(jì)改善了產(chǎn)品的零點(diǎn)穩(wěn)定性、線性度和橫向靈敏度。通常,溫度系數(shù)小于0.05FS/~C,橫向靈敏度小于3%。這種新型傳感器有如下特點(diǎn);緊湊的結(jié)構(gòu),低功耗,可靠性好,性能優(yōu)異。

VTI的加速度傳感器是基于已經(jīng)得到證明的3D-MEMS技術(shù)制作的。三維微電子機(jī)械系統(tǒng)(3D-MEMS ),是各種技術(shù)的創(chuàng)新性組合,可以將硅加工成三維結(jié)構(gòu),其封裝和觸點(diǎn)便于安裝和裝配,用這種技術(shù)制作的傳感器具有極好的精度、極小的尺寸和極低的功耗。一個(gè)高級(jí)的傳感器僅由一小片硅就能制作出來,并能測量三個(gè)互相垂直方向的加速度。

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加速度傳感器 MEMS

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