當(dāng)今的趨勢(shì),無論是物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展、智能手機(jī)的熱潮、移動(dòng)網(wǎng)絡(luò)的崛起,都和傳感器有著密切的關(guān)系。傳感器已經(jīng)滲透到我們?nèi)粘I?,存在于每個(gè)角落,大到汽車、工業(yè)設(shè)備,小到手機(jī),都大量使用了各種傳感器——這正符合了智能化的潮流,而傳感器則是其中最基本也是最重要的一環(huán)。
傳感器種類多樣,因此根據(jù)用途、原理都有特定的分類。例如接近傳感器、 霍爾傳感器、溫度/壓力傳感器、電流傳感器等等。而傳感技術(shù)在近年來也得到了長(zhǎng)足的發(fā)展,MEMS 就是最具代表性的例子,MEMS技術(shù)讓我們能夠在有限的空間內(nèi)最大限度地發(fā)揮傳感器的功能,廣泛用于多種場(chǎng)合。
那么什么是MEMS?在維基百科中,這項(xiàng)技術(shù)的解釋是:微機(jī)電系統(tǒng)(Microelectromechanical Systems,MEMS)是將微電子技術(shù)與機(jī)械工程融合到一起的一種工業(yè)技術(shù),它的操作范圍在微米范圍內(nèi)。比它更小的,在納米范圍的類似的技術(shù)被稱為納機(jī)電系統(tǒng)。
完整的MEMS是由微傳感器、微執(zhí)行器、信號(hào)處理和控制電路、通訊接口和電源等部件組成的一體化的微型器件系統(tǒng)。MEMS傳感器能夠?qū)⑿畔⒌墨@取、處理和執(zhí)行集成在一起,組成具有多功能的微型系統(tǒng),從而大幅度地提高系統(tǒng)的自動(dòng)化、智能化和可靠性水平。它還能夠使得制造商能將一件產(chǎn)品的所有功能集成到單個(gè)芯片上,從而降低成本,適用于大規(guī)模生產(chǎn)。
兩大應(yīng)用領(lǐng)域推動(dòng)MEMS傳感技術(shù)應(yīng)用
MEMS傳感器目前主要應(yīng)用在汽車和消費(fèi)電子兩大領(lǐng)域。
消費(fèi)電子領(lǐng)域中,任天堂公司曾在Wii無線游戲機(jī)中使用 MEMS器件,允許使用者通過運(yùn)動(dòng)和點(diǎn)擊互相溝通和在屏幕上處理一些需求,其原理是將運(yùn)動(dòng)(例如揮舞胳膊模仿網(wǎng)球球拍的運(yùn)動(dòng))轉(zhuǎn)化為屏幕上的游戲行為。早前,任天堂和ADI宣布將ADI的ADXL330 iMEMS加速度計(jì)整合到任天堂的Wii游戲控制臺(tái)中。加速度計(jì)幫助任天堂把視頻游戲提升到一個(gè)新的水平。
目前大多數(shù)手機(jī)都含有MEMS傳感器實(shí)現(xiàn)重力加速計(jì)和陀螺儀的功能,例如被用在iPhone中。通過對(duì)旋轉(zhuǎn)時(shí)運(yùn)動(dòng)的感知,iPhone可以自動(dòng)地改變橫豎屏顯示,以便消費(fèi)者能夠以合適的水平和垂直視角看到完整的頁(yè)面或者數(shù)字圖片。
在汽車應(yīng)用中,用到越來越多的MEMS傳感器。包括安全氣囊中的汽車安全氣囊感應(yīng)器、懸架控制、翻滾等。另外還包括汽車MEMS壓力傳感器和輪胎氣壓自動(dòng)監(jiān)測(cè)系統(tǒng),MEMS壓力傳感器適合于任何類型的輪胎,在輪胎胎壁埋設(shè)一小塊感壓力敏芯片,自動(dòng)測(cè)量輪胎氣壓、溫度、轉(zhuǎn)速和其它一些數(shù)據(jù),并用特定的代碼發(fā)送出來。另外,汽車導(dǎo)航中的GPS信號(hào)補(bǔ)償、氣缸內(nèi)壓力測(cè)量等等大多數(shù)汽車子系統(tǒng)中。
iPhone 4上的MEMS 傳感器
iPhone4 上用到的MEMS 傳感器大致一下幾種。影像傳感器:簡(jiǎn)單說就是相機(jī)鏡頭,由于只牽涉到微光學(xué)與微電子,沒有機(jī)械成份在里頭,即便加入馬達(dá)、機(jī)械驅(qū)動(dòng)的鏡頭。磁阻傳感器:簡(jiǎn)單講就是感測(cè)地磁。感應(yīng)地磁就是指南針原理,將這種地磁感應(yīng)電子化、數(shù)字化,就稱為數(shù)字指南針(DigitalCompass)。老實(shí)說,數(shù)字指南針技術(shù)比較偏玩具性,因?yàn)橛脕砀袦y(cè)地磁的磁阻傳感器,很容易受環(huán)境影響(如高壓電塔旁、馬達(dá)旁),必須時(shí)時(shí)校正才有用。磁阻傳感器目前沒有被視為熱門的MEMS組件,有些MEMS組件會(huì)追加整合磁阻感測(cè)能力。聲波傳感器:學(xué)名聲波傳感器,俗名麥克風(fēng)。是的,iPhone4為了強(qiáng)化聲音質(zhì)量,使用2組麥克風(fēng)與相關(guān)運(yùn)算來達(dá)到降噪(降低噪音)的效果,這種技術(shù)稱為數(shù)組麥克風(fēng) (ArrayMIC),事實(shí)上早在Apple實(shí)行之前,2004年就已經(jīng)在PC上提出過,差別是蘋果用于手機(jī),Wintel用于PC。麥克風(fēng)需要微型化嗎?相當(dāng)需要。且使用一個(gè)以上的麥克風(fēng),麥克風(fēng)的體積縮小需求就更迫切,麥克風(fēng)也牽涉到機(jī)械(聲波會(huì)使微型機(jī)械振動(dòng)),并將機(jī)械振動(dòng)轉(zhuǎn)換成電子信號(hào),因此微型化的麥克風(fēng),是個(gè)不折不扣的MEMS傳感器。加速度傳感器:俗稱加速規(guī)、G-Sensor,可以感應(yīng)物體的加速度性。事實(shí)上加速度傳感器的實(shí)現(xiàn)方式也是許多種,MEMS只是手法之一,用MEMS實(shí)現(xiàn)加速度傳感器確實(shí)是目前的趨勢(shì)。加速度傳感器一般有“X、Y兩軸”與“X、Y、Z三軸”兩種,兩軸多用于車、船等平面移動(dòng)為多,三軸多用于飛彈、飛機(jī)等飛行物。而不用多說,Wii遙控器也是用三軸,iPhone可以感應(yīng)實(shí)體翻轉(zhuǎn)而自動(dòng)對(duì)應(yīng)翻轉(zhuǎn)畫面,靠的就是這個(gè)傳感器。角加速度傳感器:iPhone4確實(shí)是率先使用陀螺儀的手機(jī)。更簡(jiǎn)單講就是陀螺儀,陀螺儀實(shí)現(xiàn)技術(shù)有機(jī)械式與光學(xué)(紅外線、雷射)式,第六項(xiàng)的加速度傳感器比較能感測(cè)平移性,但對(duì)于物體有個(gè)軸心,進(jìn)行角度性的移動(dòng), 則其感應(yīng)效果不如陀螺儀好。