近年來,MEMS傳感器在消費類電子產品中的應用呈現(xiàn)快速增長的趨勢,在智能手機、平板電腦、筆記本電腦等智能移動終端、物聯(lián)網相關的智能電子標簽、智能玩具等領域得到越來越多的應用。
士蘭微電子在三年多前開始進行MEMS傳感器技術和產品的研發(fā),得益于設計/制造一體的模式,士蘭微電子在MEMS傳感器件的設計、信號處理芯片的設計、MEMS芯片工藝制造技術、MEMS封裝技術、傳感器測試技術等相關的技術領域投入了全方位的研發(fā)資源,并于近期取得實質性進展,推出了三軸加速度傳感器SC7A30和三軸磁傳感器SC7M30。
這兩款產品均采用3.0mm x 3.0mm x 1.0mm的LGA封裝,可應用于智能手機和平板電腦等各種場合。更小尺寸外形(2.0mm x 2.0mm x 1.0mm)的產品即將在年內推向市場。
士蘭微電子的加速度傳感器采用厚多晶質量塊技術方案,磁傳感器采用鐵電薄膜材料的各向異性磁阻效應(AMR)制作。這兩類傳感器的芯片制造均在士蘭微電子的芯片生產線上完成,封裝在士蘭微電子的封裝工廠進行。
經過三年多的技術研發(fā),士蘭微電子已經掌握了加速度和磁傳感器研發(fā)與生產、測試各個環(huán)節(jié)的核心技術。同時,設計制造一體的模式將有利于產品質量/成本的控制,公司陸續(xù)推出的MEMS傳感器產品將以其優(yōu)良的性能和極具競爭力的價格打破歐美廠家的壟斷。
士蘭微電子的MEMS傳感器研發(fā)得到了國家科技重大專項的支持,目前同時在進行的研發(fā)項目還有陀螺儀和壓力傳感器產品,預計今年年內還將推出三軸陀螺儀產品以及6軸/ 9軸組合傳感器產品。