MEMS加速度傳感器在心率檢測儀中應用

2013-09-24 14:59 來源:電子信息網 作者:蒲公英

一、概述

目前國際上已把婦幼保健指標作為衡量社會生產、經濟發(fā)展的敏感指標。我國規(guī)定的體現小康水平的健康指標、人均期望壽命、嬰兒死亡率、孕產婦死亡率等指標都大部分需要通過婦幼保健來實現?,F在醫(yī)院常規(guī)的產前檢查包括測胎心、胎位、量血壓、稱體重、測腹圍和宮底高度等。其中檢測胎兒心率是一項技術性很強的工作,由于胎兒心率很快,在每分鐘l20~160次之間,用傳統(tǒng)的聽診器甚至只有放大作用的超聲多普勒儀,用人工計數很難測量準確。而具有數字顯示功能的超聲多普勒胎心監(jiān)護儀,價格昂貴,僅為少數大醫(yī)院使用,在中、小型醫(yī)院及廣大的農村地區(qū)無法普及。此外,超聲振動波作用于胎兒,會對胎兒產生很大的不利作用 盡管檢測劑量很低,也屬于有損探測范疇,不適于經常性、重復性的檢查及家庭使用。

本項目基于VTI公司的SCA600C13H1G型MEMS加速度傳感器,提出一種無創(chuàng)胎心檢測方法,研制出一種簡單易學、直觀準確的介于胎心聽診器和多普勒胎兒監(jiān)護儀之間的臨床診斷和孕婦自檢的醫(yī)療輔助儀器。

二、 SCA600C13H1G

SCA600C13H1G硅電容式加速度傳感器是由單晶硅和玻璃制成。這種設計能夠保證,隨著時問和溫度的變化,產品具有很好的可靠性、準確性和穩(wěn)定性。它的電容檢測原理簡單而且可靠,是基于兩個平行板間距的變化來測量的。一對平行板間的電容和電荷存儲量取決于平行板間的間距和板面積。 產品的密封結構降低了封裝要求。微?;蚧瘜W物質不能進入傳感器內,從而保證了產品的可靠性。 產品的雙電容器結構和對稱性設計改善了產品的零點穩(wěn)定性、線性度和橫向靈敏度。通常,溫度系數小于0.05FS/~C,橫向靈敏度小于3%。這種新型傳感器有如下特點;緊湊的結構,低功耗,可靠性好,性能優(yōu)異。

VTI的加速度傳感器是基于已經得到證明的3D-MEMS技術制作的。三維微電子機械系統(tǒng)(3D-MEMS ),是各種技術的創(chuàng)新性組合,可以將硅加工成三維結構,其封裝和觸點便于安裝和裝配,用這種技術制作的傳感器具有極好的精度、極小的尺寸和極低的功耗。一個高級的傳感器僅由一小片硅就能制作出來,并能測量三個互相垂直方向的加速度。

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加速度傳感器 MEMS

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