從運(yùn)動(dòng)檢測(cè)、環(huán)境感知、壓力測(cè)試,MEMS解決方案如今已經(jīng)滲透到人們生活里。手機(jī)是MEMS應(yīng)用最大的一塊,最常見的就是加速度傳感器,其他還有地磁儀、陀螺儀、壓力和溫濕度傳感器,紅外傳感器,甚至UV傳感器,如果把MEMS麥克風(fēng)也計(jì)算在內(nèi),一款智能手機(jī)可能會(huì)有十多款傳感器。而且MEMS應(yīng)用領(lǐng)域目前仍然在不斷擴(kuò)大,目前最大區(qū)域分別為汽車與消費(fèi),例如電子玩具上安裝傳感器,冰箱里投入傳感器,運(yùn)動(dòng)傳感器放入鞋內(nèi)這些都是MEMS傳感器應(yīng)用擴(kuò)大。博世從汽車領(lǐng)域起家,耕耘很久也占據(jù)優(yōu)勢(shì);意法半導(dǎo)體的優(yōu)勢(shì)市場(chǎng)在消費(fèi)電子,同時(shí)兩家也在互相滲透對(duì)方的主導(dǎo)市場(chǎng)。
從技術(shù)層面來看,MEMS技術(shù)突破了原有的以數(shù)字信號(hào)輸出功能為主的限制,可以反過來使用,通過MEMS致動(dòng)器,使其以模擬或物理的形式對(duì)外輸出。
隨著越來越多的汽車導(dǎo)入安全系統(tǒng),在汽車中使用這些類型的感測(cè)器也正快速增加中。去年,這一類感測(cè)器市場(chǎng)成長(zhǎng)了大約338%,達(dá)到9,200萬(wàn)美元的市場(chǎng)規(guī)模,較2011年的1,000萬(wàn)美元更大幅提升。
壓力傳感器在多種應(yīng)用中用于控制與監(jiān)測(cè),今年料將成為銷售情況最好的MEMS器件,力壓加速計(jì)和陀螺儀等傳統(tǒng)主流器件。其最大市場(chǎng)仍然是汽車,主要用于輪胎壓力監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。
在汽車領(lǐng)域,MEMS壓力傳感器營(yíng)業(yè)收入2013年預(yù)計(jì)達(dá)到12.6億美元,占當(dāng)年總體產(chǎn)業(yè)營(yíng)業(yè)收入的74%,盡管未來幾年汽車領(lǐng)域的增長(zhǎng)勢(shì)頭將有所減弱,但該領(lǐng)域的營(yíng)業(yè)收入仍將高于其它領(lǐng)域,2017年將占到總體產(chǎn)業(yè)營(yíng)業(yè)收入的三分之二。
在北美、歐洲以及法規(guī)成熟的其它地方,如澳洲、日本、加拿大與南韓,都強(qiáng)制要求汽車採(cǎi)用ESC系統(tǒng),隨著越來越多的汽車導(dǎo)入安全系統(tǒng),在汽車中使用復(fù)合式 MEMS 慣性感測(cè)器也正快速增加中。
在一些未開發(fā)的領(lǐng)域還存在龐大的商機(jī),如中國(guó)提供了一個(gè)更大規(guī)模的市場(chǎng),這將會(huì)明顯影響到ESC在全球的滲透率。然而,從另一個(gè)角度來看,它也將為整體車用復(fù)合式感測(cè)器帶來巨大的成長(zhǎng)驅(qū)動(dòng)力與動(dòng)能。
汽車MEMS應(yīng)用領(lǐng)域
MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))傳感器;有三項(xiàng)MEMS技術(shù)產(chǎn)品:紅外傳感器、磁性傳感器、測(cè)角傳感器;在高檔汽車中,大約采用25至40只MEMS傳感器;
1)MEMS傳感器的大批量高精度生產(chǎn)和高可靠性及單價(jià)廉價(jià),特別適宜在汽車電控系統(tǒng)中應(yīng)用;
2)安全氣囊中的汽車安全氣囊感應(yīng)器;
3)MEMS汽車微加速度計(jì)正替代以往的機(jī)電式加速度傳感器
4)MEMS陀螺儀在高端汽車中的應(yīng)用包括:懸架控制、翻滾
5)汽車MEMS壓力傳感器和輪胎氣壓自動(dòng)監(jiān)測(cè)系統(tǒng),MEMS壓力傳感器適合于任何類型的輪胎,在輪胎胎壁埋設(shè)一小塊感壓力敏芯片,自動(dòng)測(cè)量輪胎氣壓、溫度、轉(zhuǎn)速和其它一些數(shù)據(jù),并用特定的代碼發(fā)送出來。
6)發(fā)動(dòng)機(jī)管理系統(tǒng)中的MEMS應(yīng)用
7)微機(jī)械陀螺是一種振動(dòng)式角速率傳感器,在汽車領(lǐng)域的應(yīng)用開發(fā)倍受關(guān)注,主要用于汽車導(dǎo)航的GPS信號(hào)補(bǔ)償和汽車底盤控制系統(tǒng);
8)汽車電控燃油噴射系統(tǒng)EFI要使用多重壓力MAP傳感器,監(jiān)測(cè)發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)氣歧絕對(duì)壓力,提高其動(dòng)力性能,降低油耗,減少?gòu)U氣排放。
9)微型硅壓阻式MEMS壓力傳感器可用于發(fā)動(dòng)機(jī)廢氣循環(huán)系統(tǒng),替代陶瓷電容式壓力傳感器;
10)汽車空調(diào)壓縮機(jī)中的壓力測(cè)量也是MEMS的一個(gè)很大市場(chǎng)。
11)氣缸內(nèi)氣壓測(cè)量,爆缸控制;
12)燃油噴射系統(tǒng),柴油共軌系統(tǒng);
13)傳動(dòng)油壓,變速自動(dòng)控制;
14)制動(dòng)油道油壓,制動(dòng)系統(tǒng);
15)懸掛液壓,懸掛系統(tǒng);