力敏傳感器作為一種用來(lái)檢測(cè)固、液、氣等物質(zhì)之間相互作用力的傳感器,常用到材料有半導(dǎo)體、金屬及合成材料。目前常用的主要是硅壓阻式力敏傳感器和電容式力敏傳感器。硅壓力傳感器優(yōu)點(diǎn)是,靈敏度好、精度高、缺點(diǎn)是受溫度影響大。
此前,本土生產(chǎn)的力敏傳感器一直都沒(méi)能在工業(yè)自動(dòng)化儀表,特別是變送器產(chǎn)品上占有一席之地。力敏傳感器在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)尚未大規(guī)模打開(kāi),長(zhǎng)期被外國(guó)公司所壟斷,其主要原因是敏感元件和傳感器的產(chǎn)業(yè)化工作研發(fā)不力、重視不夠、投資不多。力敏傳感器的產(chǎn)業(yè)化,除了國(guó)家政策、體制、機(jī)制、布局、投資等原因外,力敏傳感器本身也有產(chǎn)業(yè)化的規(guī)律和技術(shù)問(wèn)題值得探討和研究,即包括力敏傳感器的產(chǎn)業(yè)化技術(shù)、產(chǎn)業(yè)化市場(chǎng)、產(chǎn)業(yè)化條件、產(chǎn)業(yè)化人才等因素。